Вакуум — состояние заключенного в сосуд газа при давлении меньше атмосферного. В зависимости от соотношения между длиной свободного пробега к частиц и линейным размером l сосуда (прибора) различают:
1) низкий вакуум — p< l, давление газа в сосуде выше 102 па;
2) средний вакуум — p = l, давление газа в сосуде лежит в пределах от 101 па до 102 па;
3) высокий вакуум — p> l, давление газа в сосуде лежит в пределах от 10~5 па до 101 па;
4) сверхвысокий вакуум — p> l0, давление газа в сосуде ниже 10-5 па.